超純水機(jī)概述及工藝比較

　　電子工業(yè)用超純水機(jī)概述

　　半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水機(jī)清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

　　用兩級(jí)反滲透制取

　　電子工業(yè)超純水機(jī)處理設(shè)備采用兩級(jí)反滲透主機(jī)加EDI；

　　制取電子工業(yè)超純水機(jī)處理設(shè)備；

　　制備電子工業(yè)用超純水機(jī)的工藝流程。