優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)是指系統(tǒng)從原水*生產(chǎn)到超純水的生產(chǎn)系統(tǒng)。一般超純水系統(tǒng)通過離子交換、脫氣、反滲透、UV、超濾、納米速率、離子吸附過濾等多重過濾產(chǎn)生超純水。一般來說，超純水系統(tǒng)可分為三部分：超純水制造區(qū)（CUB部分）；超純水拋光循環(huán)區(qū)（FAB部分）；超純水傳輸網(wǎng)絡（FAB各使用區(qū)）。

　　

　　優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)是一個非常重要且復雜的部分，分為預處理、初級純水處理和超純水處理三個部分。預處理部分主要包括：砂濾和活性炭塔；初級純水主要包括陰離子交換塔、脫氣塔（DG）、安全過濾器、紫外線殺菌器和多級反滲透；超純水主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）和末端過濾器。但考慮到輸水管道在將高純水輸送到工藝線設備的過程中會再次污染水質，因此拋光循環(huán)系統(tǒng)一般設置在晶圓廠內。精制循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心，外加超濾設備（UF），在將純水輸送到工藝生產(chǎn)線的過程中，去除管網(wǎng)中溶解在水中的雜質。

　　

　　1、液位聯(lián)鎖全自動控制，具有系統(tǒng)開機自檢、原水不足停機自動保護、系統(tǒng)低壓高壓停機報警、缺相過流停機報警、自動水箱高水位停機/中水位啟動、系統(tǒng)自動沖洗等。同時系統(tǒng)還具有手動操作功能，滿足應急需要；

　　

　　2、增強型預處理系統(tǒng)采用全自動控制閥，實現(xiàn)預處理的自動/手動再生，使用壽命長；

　　

　　3、恒壓供水系統(tǒng)由全自動水泵控制器控制，數(shù)字電路經(jīng)久耐用，可手動操作；

　　

　　4、儀器儀表全顯示設計，可有效監(jiān)測系統(tǒng)各項指標，純水電導儀在線監(jiān)測??膜水質，純水電導儀實時監(jiān)測純水電導率；

　　

　　5、優(yōu)普超純水制造系統(tǒng)采用CNP專用高壓泵、進口RO膜、進口繼電器、管道接頭等元件，采用模塊化、一體化工藝設計，性能穩(wěn)定，設備安裝維護簡單。